金融界2025年5月10日消息，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，深圳市三維機(jī)電設(shè)備有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種晶圓生產(chǎn)用晶圓瑕疵檢測(cè)裝置及方法”的專(zhuān)利，公開(kāi)號(hào)CN119936058A，申請(qǐng)日期為2025年4月機(jī)電設(shè)備。

專(zhuān)利摘要顯示，本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓生產(chǎn)用晶圓瑕疵檢測(cè)裝置及方法，屬于晶圓檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，包括檢測(cè)柜以及裝配于檢測(cè)柜內(nèi)頂壁上的相機(jī)，檢測(cè)柜的內(nèi)底壁通過(guò)開(kāi)設(shè)安裝槽裝配有旋轉(zhuǎn)單元，旋轉(zhuǎn)單元包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接于安裝槽內(nèi)的環(huán)架；通過(guò)設(shè)置的相機(jī)、旋轉(zhuǎn)單元和凸輪件，實(shí)現(xiàn)了晶圓在檢測(cè)過(guò)程中的自動(dòng)旋轉(zhuǎn)和傾斜，從而能夠同時(shí)檢測(cè)晶圓表面和邊緣處的瑕疵，顯著提高了檢測(cè)效率，同時(shí)晶圓在檢測(cè)過(guò)程中由平放狀態(tài)逐漸傾斜至豎直狀態(tài)的過(guò)程中能夠呈現(xiàn)不同的檢測(cè)視角，且在豎直狀態(tài)下繼續(xù)跟隨環(huán)架公轉(zhuǎn)的過(guò)程中會(huì)在面齒輪的驅(qū)使下使真空吸盤(pán)帶動(dòng)晶圓自轉(zhuǎn)，使得晶圓邊緣處所有位置都能被相機(jī)拍到，配合使用下，使得相機(jī)能夠更全面地捕捉到晶圓表面和邊緣處的瑕疵散射信號(hào)機(jī)電設(shè)備。

天眼查資料顯示，深圳市三維機(jī)電設(shè)備有限公司，成立于2005年，位于深圳市，是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)機(jī)電設(shè)備。企業(yè)注冊(cè)資本2000萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析，深圳市三維機(jī)電設(shè)備有限公司共對(duì)外投資了8家企業(yè)，參與招投標(biāo)項(xiàng)目2次，財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息1條，專(zhuān)利信息80條，此外企業(yè)還擁有行政許可4個(gè)。

來(lái)源：金融界